POsitionnement Nanométrique Multi-échelle – PONAME

PONAME vise à répondre à un besoin croissant à savoir la possibilité de nanostructurer et nanocaractériser à grande échelle. Si l’électronique illustre parfaitement ce besoin, tous les secteurs et domaines d’applications associés aux nanotechnologies et nanosciences sont potentiellement concernés (optoélectronique, traitement de surface…). Le besoin est à la fois d’ordre technologique, pratique et fondamental (physique multi-échelle). A titre d’exemples on peut citer la mesure et suivi de fissure, la détermination de fonction d’autocorrélation de surfaces nanostructurées, la propagation de la lumière en optique intégrée et la détermination des caractéristiques optogéométriques de composants de l’optoélectronique ou de la photonique plus généralement. Garantir des résolutions et des répétabilités de déplacement nanométriques sur des étendues millimétriques apporte des contraintes mécaniques, métrologiques et instrumentales (temps d’acquisition, vitesse de déplacement et d’asservissement, etc) qui restent de nos jours rédhibitoires pour des systèmes commerciaux à l’exception des instruments utilisés en microélectronique qui aujourd’hui dépassent plusieurs dizaines de million d’euros. PONAME a pour objectif la réalisation d’un système de déplacement et de balayage susceptible d’avoir des performances nanométriques au niveau résolution et répétabilité, avec des étendues de mesures millimétriques. Le système sera autonome et opérationnel indépendamment de l’appareillage utilisé. Ce système pourra s’adapter sur un certain nombre d’appareils commerciaux utilisés en nanotechnologies, tels que les microscopes en champs proches (AFM – SNOM) ou les systèmes de lithographie. Ces deux champs applicatifs sont parfaitement complémentaires. Il est à noter qu’il ne s’agît pas ici de développer des appareils dit ‘métrologiques’, par exemple AFM-métrologiques Le système de développement doit pouvoir s’adapter sur différents types d’appareillages « commerciaux » afin d’ouvrir leur champ d’investigation. La métrologie dans ce projet permet de garantir la résolution et la répétabilité du système. Le consortium est constitué de deux laboratoires, et d’un industriel fortement impliqué et les objectifs sont de réaliser un prototype fonctionnel et déjà intégrable, avec des soucis de commercialisation intégrés dès la conception.