DS07 - Société de l'information et de la communication
Vacuum Scanning Microwave Microscopy for quantitative characterization of sub-10 nm and atto-Farad scale capacitors and memories – VACSMM
Coordination du projet
Didier THERON (Institut d'Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie)
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Partenaire
University of Oldenburg
CNRS-IEMN Institut d'Electronique, de Microelectronique et de Nanotechnologie
Aide de l'ANR 237 400 euros
Début et durée du projet scientifique :
novembre 2014
- 48 Mois
