PNANO - PNANO : Nanosciences et nanotechnologies

Procédé d'enduction capillaire d'oxydes mixtes pour la réalisation de condensateurs 3D à très forte capacité spécifique intéressant l'électronique nomade – 3DCAP

Résumé de soumission

Le développement des composants visant à intégrer toujours plus de fonctions, en particulier pour l'électronique nomade, requiert la miniaturisation des condensateurs qui occupent une trop grande surface sur la puce, d'autant plus qu'ils deviennent plus nombreux. Le projet vise à développer un procédé innovant conjuguant les bénéfices d'une architecture tridimensionnelle (3D) et de matériaux de type oxydes pérovskites à très haute constante diélectrique, des titanates. Pour optimiser les propriétés du condensateur aux interfaces avec le diélectrique, les électrodes seront aussi des matériaux oxydes de structure pérovskite, des nickelates dont la maille élémentaire est de dimension très voisine de celle des titanates. On adaptera à cette problématique un procédé déjà expérimenté avec succès pour réaliser des nanotubes de ces oxydes complexes, par enduction capillaire de matrices sacrificielles.
Dans un premier temps, on optimise les paramètres d'une solution sol-gel de l'oxyde, sa mouillabilité en particulier, pour garantir le bon angle de contact avec le support (silicium ou autre oxyde). On procède à l'enduction qui est suivie d'un recuit pour cristalliser l'oxyde et le fritter. On répète l'opération pour la couche suivante. L'objectif final est la réalisation d'un réseau de condensateurs tapissant des tranchées sub-micronique gravées par plasma dans le silicium. La largeur des tranchées sera un paramètre ajustable pour tester le rôle de la force capillaire. Une étude parallèle sera conduite sur du silicium poreux. Un objectif réaliste est d'atteindre ainsi une capacitance de 1000 nF/mm2. C'est plus d'un ordre de grandeur supérieur aux condensateurs intégrés issus des derniers développements actuels de la R&D, permettant d'espérer un avantage concurrentiel décisif dans ce secteur d'activité hautement compétitif, où la place de la France est à préserver face à la redoutable concurrence asiatique.
Le projet exploitera la plate forme CERTeM sur le site STMicroelectronics qui produit déjà des condensateurs intégrés 3D et soutient fortement le projet.

Coordination du projet

L'auteur de ce résumé est le coordinateur du projet, qui est responsable du contenu de ce résumé. L'ANR décline par conséquent toute responsabilité quant à son contenu.

Partenaire

Aide de l'ANR 0 euros
Début et durée du projet scientifique : - 0 Mois

Liens utiles

Explorez notre base de projets financés

 

 

L’ANR met à disposition ses jeux de données sur les projets, cliquez ici pour en savoir plus.

Inscrivez-vous à notre newsletter
pour recevoir nos actualités
S'inscrire à notre newsletter