Substrats avec couche enterrée fONctionnalisée pour l’intéGration de nanosystèmES. – SONGES

La maîtrise des nanotechnologies va ouvrir la voie à des structures innovantes permettant d’intégrer de nouvelles fonctionnalités sur CMOS et de fabriquer de nouveaux nanosystèmes. L’obtention de substrats innovants passe souvent par une juxtaposition et/ou un empilement ingénieux de différents matériaux. L’objectif de ce projet est de maîtriser l’assemblage moléculaire de surfaces hétérogènes constituées de matériaux de natures différentes avec des motifs à l’échelle nanométrique. Un tel assemblage associé aux techniques d’amincissement mécano-chimiques permet l’obtention de substrats constitués de multicouches avec en particulier une couche enterrée hétérogène. Celle-ci pourra être composée de zones enterrées isolantes conductrices ou encore se comportant différemment vis-à-vis d’une gravure chimique dont les dimensions (latérales et verticales) seront à l’échelle nanométrique. De tels substrats répondront aux besoins technologiques pour la miniaturisation de microsystèmes.