Avancées sur les Limites Instrumentales de mesure de Courant en AFM : Application à la Nanolithographie et Transfert en Entreprise – ALICANTE

Dans le cadre des nanosciences la microscopie à force atomique (AFM) joue un rôle clé en tant qu’outil de caractérisation de diverses propriétés aux échelles nanométriques mais aussi en tant qu’outil de nanofabrication. Le projet ALICANTE aborde ces deux aspects. ALICANTE est centré sur un instrument innovant qui permet associé à un AFM muni d’une pointe-sonde conductrice de réaliser des mesures locales de courant jusqu’au pA sur une dynamique de 10 décades. Cette dynamique exceptionnelle le rend sans équivalent au monde. Cet appareil a déjà permis dans son état de prototype actuel plusieurs importantes avancées scientifiques et technologiques. Construit sur les fortes complémentarités entre deux laboratoires académiques et une jeune PME d’instrumentation ALICANTE poursuit trois objectifs : • Accomplir une avancée instrumentale décisive vers les mesures très faibles courants (~10 fA) • Développer une application originale en nanolithographie ultra-haute résolution/faible coût (<5nm) • Valoriser l’instrument en développant le prototype d’une version commercialisable.