Micro capteur d'accélération résonant bas coût à hybridation nanométrique pour la téléphonie mobile – M&NEMS

Ce programme de développement a pour objectif la réalisation de capteurs inertiels très bas coût pour des applications grand public de type téléphonie mobile. Cette étude repose sur la conception et la réalisation de composants inertiels de très petites dimensions (< 0.05 mm²) permettant une approche de co-intégration ultime de type « in IC ». Nous proposons une solution innovante qui repose sur le développement d’un nouveau type de capteurs résonants basé sur une technologie CMOS hybride associant simultanément NEMS et MEMS. Cette approche permettra de garantir un minimum de performances grâce à un design typique des microsystèmes associé à un principe de détection par résonateur tout en profitant des gains en intégration et donc en coûts de production apportés par les technologies NEMS.