Microscope spectroscopique infrarouge en champ proche (SNOM IRS) sur une source blanche, brillante et stable – SNOMIRS
Le projet présenté vise à développer un dispositif de spectroscopie IR en champ proche (SNOMIRS) de grande sensibilité et spatialement résolu (<100 nm) pour l'analyse des états de liaisons chimiques. Il s'agit de démontrer l'intérêt et les qualités du rayonnement infrarouge issu d'un synchrotron pour un SNOMIRS. Cette démonstration repose sur trois phases de développement qui aboutiront à la mise en œuvre d’un prototype répondant aux exigences de sensibilité et de résolution ciblés : 1- Etude des performances de la source IR de l'ESRF couplée à une tête d’AFM et un système de détection constituant un SNOMIRS 2- Réalisation d’un banc test permettant l’analyse et l’optimisation de l'interaction pointe-échantillon sur un banc multi-longueurs d'onde équipé de deux types de capteurs de force (levier-pointe ou diapason-pointe) 3- Analyse des effets de polarisation en champ proche optique par la polarimétrie de Mueller. Ce projet dotera la communauté scientifique et les industriels des nanotechnologies d'un outil unique d'analyse chimique locale. Les applications visées couvrent : l’étude de l’hétérogénéité latérale de composition et de structure des diélectriques à forte et faible permittivité intégrés dans les empilements de grille et les interconnexions l’analyse de la fonctionnalisation locale des structures développées pour les biotechnologies…
Coordination du projet
Organisme de recherche
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Partenariat
EUROPEAN SYNCHROTRON RADIATION FACILITY - ESRF
Aide de l'ANR 549 233 euros
Début et durée du projet scientifique :
- 36 Mois