Projet d'acquisition d'un MEB-FEG pour la Plateforme Nanofab de Grenoble – NANOFAB-MEBFEG

Opérationnelle depuis 2000 la plateforme de proximité met a disposition des chercheurs de Physique fondamentale (CRTBT LLN Lepes Cristallographie..) ou plus appliquée (Spintec LTM LMGP EPM..)des procédés et des équipements de micro et nanofabrication. Les principaux domaines d’applications sont des recherche en nanophysique (effet kondo..) en électronique avancée (Qbits moléculaire..) en nanomagnétisme (microquids agrégats magnétiques spintronique..) nano-microcapteur ( micro fluidique nano réfrigération) ou en nanomatériau( Nanotubes graphénes etc). Le cœur de l’activité technologique est centré sur des développements en lithographie électronique et en micro usinage FIB : Notre Microscope Electronique à Balayage est presque complètement dédié à ces activités (trois semaines de réservation actuellement) et ne peut assurer les fonctions d’observation des échantillons nanofabriqués par lithographie ou les demandes des chercheurs en matériaux nano-structurés. L’objectif de ce projet est l’extension des moyens d’observation et d’analyse de la plateforme Nanofab du CNRS de Grenoble par l’acquisition d’un Microscope Electronique à Balayage FEG équipé de microanalyse. Installé hors salle blanche cet outil permettrait de réunir les communautés de la nano-physique et des matériaux nanostructurés.