NanoLithographie Salle Blanche Paris-Centre – NL-SBPC

Le consortium « Salle blanche Paris Centre (SPBC) » a été reconnu centrale de proximité en 2004. Il comprend les sites de l’ENS (100 m2, classe 10000), de l’INSP (220 m2 dont 60 m2 en classe 1000) et de l’ESPCI (40 m2, classe 10000). La présente demande vise à améliorer les possibilités en lithographie et plus spécifiquement en nanolithographie (NL) par écriture électronique (MEB) du SBPC. Elle vise à permettre : - l’achat à l’ENS d’un MEB à écriture avec platine interférométrique - la mise en route à l’INSP du MEB actuellement utilisé à l’ENS - le financement de l’environnement des appareils de lithographie optique et électronique sur les trois sites. Le projet scientifique justifiant ces équipements aborde les problématiques de l’information quantique, de l’électronique moléculaire, des systèmes quantiques et de la nanofluidique. Il s’appuie sur l’activité scientifique du LKB-ENS (UMR8552), du LPA-ENS (UMR8551), de l’INSP (UMR7588) et de l’ESPCI (UMR7083).