Détecteur thermoélectrique à haute sensibilité pour la détection et l'imagerie térahertz – TERASENS

Le projet TERASENS vise à obtenir un démonstrateur (TRL3/4) d’un nouveau type de détecteur micro-bolométrique thermoélectrique de rayonnement térahertz à haute sensibilité. La rupture technologique repose sur le couplage de trois éléments fondamentaux : une fine membrane polyimide, un matériau thermoélectrique à grand facteur de mérite et des couches fortement absorbantes et “sélectives” en fréquence. Le consortium regroupe quatre équipes complémentaires, de l’Institut Néel pour l’aspect capteurs thermiques et microfabrication, de l’IMEP-LAHC pour l’aspect térahertz (absorption, caractérisation), de l’IETR pour la conception de métastructures absorbantes ordonnées et de l’IEMN pour la conception et la réalisation de métasurfaces absorbantes, dans ce cas désordonnées. Deux types de dispositifs sont visés : un détecteur mono-pixel pour la mesure précise de puissance d’un rayonnement THz et un détecteur en matrice de 4 pixels pour de l’imagerie THz. Le capteur monopixel constituera la base d'un détecteur de puissance THz de haute précision, tandis que celui à 4 pixels sera le coeur d'un système d’imagerie THz pour des applications dans les sciences de la santé et la sécurité. Ce projet se place en complémentarité des projets développant et améliorant les performances des détecteurs THz existants, en particulier les micro-bolomètres résistifs issus de la filière silicium.