Profilage de disques résonnants par laser femtoseconde – Fs-WHIP

Le projet Fs-WHIP a pour ambition de porter la réalisation de disques résonnants macroscopiques à un niveau supérieur de fiabilité, de productivité et de flexibilité. Les résonateurs à modes de galerie (WGMR) sont d’excellents composants d’optique intégrée, avec de nombreux débouchés scientifiques et applicatifs mais la réalisation de WGMRs dans les substrats cristallins (hors optique intégrée) repose principalement sur des procédés mécaniques (tournage puis polissage). Ces derniers imposent de fortes contraintes techniques et souffrent de problèmes de fiabilité (casse, défauts de géométrie, faible reproductibilité) et de productivité, chaque disque devant être réalisé à l’unité. Pour lever ces limitations, l’usinage par laser femtoseconde apparaît comme un levier majeur. En effet, cette technologie permet de réaliser des usinages extrêmement précis (submicronique) avec un minimum de dommages collatéraux (peu d’échauffement et ondes de choc) et une excellente flexibilité, particulièrement lorsque des techniques de mise en forme de faisceau sont employées (faisceau de Bessel ou d’Airy, technologie propriétaire développée à FEMTO-ST). Outre un gain de productivité direct (rapidité), l’usinage femtoseconde offre également la possibilité d’une rupture technologique en permettant un contrôle fin du profil de guide, permettant une approche totalement neuve de ces composants.