DS0305 -

Fabrication de leviers de microscopie à force atomique pour des applications de spectroscopie Raman à exaltation de pointe – TIPTOP_1

Résumé de soumission

TIPTOP_1 est un projet collaboratif industriel visant à lever le verrou technologique actuel en microscopie Raman à exaltation de pointe (TERS) qui est la disponibilité des sondes (pointes) de microscopie à force atomique (AFM) pour applications TERS, qui soient à la fois performantes, fiables, reproductibles et accessibles à tous les utilisateurs.
Le projet TIPTOP_1 se base sur des résultats préliminaires démontrant une géométrie innovante compatible des procédés de production de type micro-électronique et a pour objectifs scientifiques et industriels:
- la micro / nano fabrication de telles sondes AFM TERS avec l’objectif final d’une microfabrication en série ;
- la démonstration de l’utilisation de ces sondes sur des systèmes-modèles (dont certains non accessibles aux sondes actuelles) ;
- l’application de ces sondes dans le domaine de la nanoélectronique, et en particulier à la mesure de contraintes localisées dans des structures ultime pour transistors silicium.

Coordination du projet

Philippe de Bettignies (HORIBA FRANCE SAS)

L'auteur de ce résumé est le coordinateur du projet, qui est responsable du contenu de ce résumé. L'ANR décline par conséquent toute responsabilité quant à son contenu.

Partenaire

CEA-LETI Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
HF HORIBA FRANCE SAS
IEMN Institut d'electronique, de microelectronique et de nanotechnologie
LPICM Laboratoire de Physique des Interfaces et des Couches Minces

Aide de l'ANR 529 312 euros
Début et durée du projet scientifique : octobre 2016 - 36 Mois

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