MAGnétomètre Résonant et mIniaTure – MAGRIT

Ce projet vise à développer un nouveau type de magnétomètre MEMS fondé sur la mesure de la variation de fréquence d’un micro résonateur sur lequel est déposée une couche mince de matériau ferromagnétique aimanté. Ce micro-magnétomètre vibrant à fort potentiel de performance pourrait permettre de répondre aux nouvelles applications duales et exigeantes de magnétomètrie, comme la navigation indoor ou la surveillance de zones par réseaux de capteurs. Une pré-étude a été menée entre l’ONERA et l’IEF: des prototypes ont montré la faisabilité de ce capteur, et un premier modèle de performances a permis de valider l’intérêt de cette technologie: faible consommation, miniaturisation et résolution compatible avec ces nouvelles applications. Ce projet est par nature pluridisciplinaire, il comprend l’étude de matériaux ferromagnétiques en couche mince, l’étude des phénomènes d’amortissement mécanique liés aux couches minces déposées sur le résonateur, la conception d’un résonateur optimal et d’un capteur complet avec électronique associée et traitement du signal, ainsi que sa caractérisation.