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Résumé de soumission

Le CEA-LETI (Grenoble, France), le laboratoire "Center for RF Integrated Engineering" de l'University Waterloo (Waterloo, Canada), COM DEV Int. (Cambridge, Canada), l'Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique (IMEP-LAHC) et NovaMEMS (France) sont fière de proposer ce projet de recherche Franco-canadien en réponse à l'annonce du premier programme de financement conjoint ANR-NSERC. Le projet proposé concerne le développement et la fabrication de commutateurs MEMS multiports et de matrice d'interrupteurs miniatures pour les applications spatiales utilisant des composants micro-nano-électromécaniques (N/MEMS). Les objectifs de ce projet sont : ? Développement des modules élémentaires d'interrupteurs N/MEMS multiports utilisables pour la réalisation de matrice d'ordre élevé pour les applications spatiales, ? Amélioration de la fiabilité des composants MEMS par l'optimisation des matériaux ou structures de contacts et de la composition des diélectriques, ? Investigation des techniques de réduction à l'échelle des interrupteurs MEMS, N/MEMS, pour atteindre des vitesses de commutation similaires aux semi-conducteurs, ? Développement et fabrication des prototypes de matrices d'interrupteurs pour la redondance et l'aiguillage de signaux dans les systèmes de communication satellite, ? Qualification et études de fiabilité des composants N/MEMS selon les standards exigés par l'industrie spatiale. Le consortium est compose de cinq institutions disposant d?une expérience importante des composants MEMS-RF, des commutateurs MEMS et interrupteurs multiports pour les applications spatiales. ? CEA-LETI agiront à titre de leader de ce projet. Ils seront responsables de la fabrication des dispositifs et des aspects fiabilités relatifs à la production. Ils seront aussi responsables du test de fiabilité associé au procédé et de la pré-qualification des dispositifs fabriquées. ? UW-CIRFE seront responsable du développement de composants novateurs, d?interrupteurs MEMS multiport et de matrices de commutation avec un regard sur les aspects d?amélioration de la fiabilité, augmentation de la vitesse de commutation et amélioration des performances. Ils seront aussi responsables de l?assemblage de matrices. ? COM DEV définira les standards et spécifications requises pour l?application spatiale et effectuerons une qualification des produits en interaction avec les partenaires du projet. COM DEV effectuera aussi le test final de qualification des produits réalisés dans le cadre de ce projet. ? IMEP-LAHC convriront les aspects caractérisation sous pointe millimétrique et dans le domain du temps. IMEP-LAHC effectuera aussi la cartographie de performance affin d?identifié la distribution de performance au niveau des tranches. ? NovaMEMS apportera un support sur les aspects d?analyse de fiabilité dans ce projet: design de structure de test, analyse des matériaux, évaluation de la fiabilité et définition d?un modèle de qualification.

Coordination du projet

L'auteur de ce résumé est le coordinateur du projet, qui est responsable du contenu de ce résumé. L'ANR décline par conséquent toute responsabilité quant à son contenu.

Partenaire

Aide de l'ANR 0 euros
Début et durée du projet scientifique : - 0 Mois

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