– ARIANE

Ce programme de recherche industrielle vise la réalisation d'un capteur inertiel de type gyromètre, basé sur un concept innovant et une technologie de type microélectronique avancée utilisant des nanofils silicium. L'objectif principal de cette étude est la conception et la réalisation technologique de capteurs de très petites dimensions, 5 à 10 fois plus petit que les composants MEMS actuels, avec des performances au moins égales voire supérieures
à celles de l'état de l'art. Nous nous plaçons avant tout dans une approche visant les marchés grand volume (automobile,..) mais avec la perspective d'aborder également les marchés plus spécifiques tels que l'avionique ou la défense. A ce titre, deux types de démonstrateurs seront conçus et réalisés, l'un visant l'optimisation du rapport coût/performances et l'autre cherchant à atteindre des hautes performances. Cette étude se veut ambitieuse quant aux objectifs techniques et scientifiques, en proposant une réelle rupture aussi bien d'un point de vue conceptuel que d'un point de vue technologique. Elle se veut néanmoins réaliste, en se basant sur des premiers dimensionnements menés au LETI et un background technologique important, notamment pour la réalisation des nanofils. Plusieurs brevets protègent d'ores et déjà l'approche proposée. Le partenariat mis en place, incluant laboratoires de recherche, startup, PME et grand groupe industriel permet de couvrir toute la chaine de cette recherche depuis la conception jusqu'à la caractérisation métrologique, en passant par la réalisation technologique, l'étude des propriétés physiques des nanofils, la modélisation système et l'électronique de traitement. Ce partenariat fournit toute la crédibilité nécessaire à la bonne avancée de ce projet, avec des acteurs de la recherche reconnus dans leur domaine (IEF, LETI), et des industriels motivés et fortement impliqués sur la conception, la fabrication ou l'utilisation de capteurs MEMS inertiels (ASYGN, TRONICS, THALES), qui apportent la vision marché et applicative, et la faisabilité industrielle des technologies mises en
œuvre. A notre connaissance de l'état de l'art, ce type de gyromètre combinant MEMS et nanofil silicium n'a jamais été investigué à ce jour.