Contrôle des Effets ELectro-Optiques Transverses dans les composants à cavité verticale – EELOT

Pour améliorer les performances actuelles des dispositifs à microcavité verticale, de diversifier leurs fonctions, et d'élargir la fenêtre spectrale de la filière GaAs, il faut lever les verrous actuels de la technologie de ces composants que sont la non-uniformité de l'injection électrique et la difficulté de contrôler précisément la forme et la dimension de la zone active imposés par les diaphragmes AlOx formés par oxydation latérale d'une couche d'AlAs enterrée. Nous proposons de focaliser notre recherche sur ces deux aspects. Il s'agira d'une part de pousser les technologies existantes à leurs limites, de manière à aboutir de manière reproductible à des composants de performances données et significativement améliorées. Il s'agira d'autre part de développer un nouveau procédé technologique original d'oxydation planaire (PAlOx) qui rend possible une structuration planaire sophistiquée des indices optiques autour de la zone active. Cette technologie innovante, qui permet de traiter séparément les aspects électrique et optique du fonctionnement de ces composants optoélectroniques, ouvre au développement de structures originales à comportement optique transverse contrôlé, que nous étudierons.