CE24 - Micro et nanotechnologies pour le traitement de l’information et la communication 2022

Nouvelles sondes haute fréquence miniatures pour la caractérisation micro-onde sur plaque – PRECISE

 

- Observation expérimentale et simulation électromagnétique des limitations des sondes commerciales

 

- Proposition de prototype de sondes miniaturisées et validation par simulation électromagnétique

 

- Modélisation mécanique de ces sondes

 

- Fabrications des sondes MEMS dans la salle blanche de l'IEMN

 

- Assemblage des sondes par MC2 technologies

 

- Test dans les différents laboratoires

Résumé de soumission

Les progrès très significatifs réalisés sur les technologies silicium pour les applications millimétriques
permettent de développer de nouveaux systèmes pour la 6G, l’imagerie médicale ou la sécurité
automobile. Malheureusement, les techniques de caractérisation haute fréquence sur plaque
nécessaires au développement de ces applications utilisent des technologies de sondes brevetées
dans les années 2000 qui ont peu évoluées. Hors, ces sondes mmW commerciales ont un couplage
fort vers le substrat ou vers le voisinage et ainsi altèrent la précision de la mesure au-delà de 50 GHz.
Ainsi, dans ce projet, nous proposons de designer des sondes miniaturisées et de les fabriquer grâce
à une technologie Silicium de type MEMS permettant de mieux confiner le champ électromagnétique.
De plus, cette sonde sera de type large bande (DC-220/325 GHz) pour s’adapter aux nouvelles
générations d’analyseur de réseau et sera plus adaptée à la caractérisation fine pour les applications
mmW ou THz.

Coordination du projet

Sebastien FREGONESE (Université de Bordeaux)

L'auteur de ce résumé est le coordinateur du projet, qui est responsable du contenu de ce résumé. L'ANR décline par conséquent toute responsabilité quant à son contenu.

Partenariat

IMS Université de Bordeaux
MICROWAVE CHARACTERIZATION CENTER
IEMN UMR 8520 - IEMN - Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie
TIMA Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés

Aide de l'ANR 602 724 euros
Début et durée du projet scientifique : septembre 2022 - 42 Mois

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