Vers un matériau couche mince piézoélectrique sans plomb à hautes performances compatible avec l'industrie pour les applications actionneurs MEMS – TILPAC

Le titano zirconate de plomb (PZT) est aujourd'hui, grâce à ses coefficients piézoélectriques élevés, le meilleur matériau pour les applications micro-actionneurs piézoélectriques. Cependant, la présence de plomb dans ce matériau représente une menace pour son utilisation à long terme dans l'industrie. Malgré une activité de recherche intense sur les piézoélectriques sans plomb cette dernière décennie, aucun matériau ne semble aujourd'hui en mesure de remplacer le PZT dans l'industrie PiezoMEMS. Une collaboration accrue entre recherche fondamentale et recherche appliquée, à l’image du consortium TILPAC, est essentielle pour définir un matériau et un procédé de dépôt adapté à une application considérée. Ce projet vise à remplacer les piézoélectriques à base de plomb en considérant à la fois le matériau, notamment intégré dans une structure condensateur, et le procédé de dépôt. Un intérêt tout particulier sera donné aux propriétés électriques notamment piézoélectriques et courants de fuite. TILPAC développera des couches minces à base de niobate de potassium et sodium (KNN) et de titanate de bismuth et sodium (BNT), soigneusement adaptées aux applications micro-actionneurs.