Spectroscopie d'absorption en cavité pour le contrôle des flux pendant la croissance des films minces – CEAS-OFM

Le dépôt de couches minces est un process technologique clé, et le développement de capteurs permettant un contrôle in-situ en ligne de ce process est donc un besoin important, actuellement couvert par aucune solution satisfaisante. L’objectif du projet est de développer un tel capteur, présentant une précision et une reproductibilité au-delà de l’état de l’art. Notre solution, baptisée CEAS-OFM, fonctionne comme les capteurs par absorption existants, mais comprend une cavité optique (comme dans les systèmes de mesures de traces de polluants) permettant un gain considérable de sensibilité, et un système de correction des dérives du trajet optique pour une stabilité inégalée. Un brevet est en cours de dépôt par le CNRS et RIBER (leader mondial des réacteurs de croissance MBE et partenaire du projet), et l’objectif du projet est de créer un produit commercialisable, avec le soutien d’un troisième partenaire, l’ILM, spécialiste de la spectroscopie d’absorption en cavité.