CE24 - Micro et nanotechnologies pour le traitement de l’information et la communication

Remède aux couches polaires mortes et aux courants de fuites dans les varactors BST pour les télécommunications NFC et 5G – BePolar

Résumé de soumission

Les technologies émergentes de communication (5G, NFC) nécessitent des varactors à film ferroélectrique (FE) affiné pour fonctionner à des fréquences plus élevées ou des tensions plus faibles. La «couche morte» FE d’interface et un courant de fuite accru limitent cette évolution. Des calculs ab initio récents montrent, aux interfaces pérovskites électrode/FE, l’influence des disparités chimiques, polaires et structurales sur la stabilisation de la polarisation et la hauteur de barrière Schottky (SBH). Nous proposons une ingénierie systématique de l’interface utilisant le dépôt par ablation laser combinatoire. L’investigation locale par spectroscopies et microscopies avancées d’interfaces chimiquement modulées, associée à des calculs DFT, conduira à l'identification de matériaux optimisés (couche morte FE minimale et SBH accrue), ainsi qu'à la compréhension des mécanismes physiques et chimiques sous-jacents. Les meilleures interfaces seront testées dans des varactors industriels prototypes de niveau de maturité technologique TRL6.

Coordination du projet

Jérôme WOLFMAN (Matériaux, Microélectronique, Acoustique, Nanotechnologies)

L'auteur de ce résumé est le coordinateur du projet, qui est responsable du contenu de ce résumé. L'ANR décline par conséquent toute responsabilité quant à son contenu.

Partenaire

CEMES CENTRE D'ELABORATION DE MATERIAUX ET D'ETUDES STRUCTURALES
SPEC Service de physique de l'état condensé
GREMAN Matériaux, Microélectronique, Acoustique, Nanotechnologies
STMicroelectronics (Tours) SAS STMICROELECTRONICS (TOURS) SAS

Aide de l'ANR 601 575 euros
Début et durée du projet scientifique : - 42 Mois

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