CE08 - Matériaux métalliques et inorganiques et procédés associés

Initiation et Dynamique de la Fracture dans le procédé SmartCut™ – Fraindy

Résumé de soumission

Le projet vise à la compréhension de la physique de la rupture d'un matériau monocristallin induite par implantation d'ions de gaz
légers (la technologie Smart Cut™). Nous utiliserons et développerons différentes techniques expérimentales permettant de mesurer
les tailles, nombres, contrainte ou contenus en gaz des microfissures produites par précipitation du gaz au cours du recuit. Les
comportements statistiques des assemblées d'objets seront suivis pour comprendre les cinétiques de croissance et coalescence des microfissures
(Obj.1). Ces études permettront d'étudier l'énergétique du système et comprendre comment est déclenchée la fracture
macroscopique du wafer entier (Obj.2). Enfin, la dynamique de propagation de la fracture sera étudiée, notamment les questions
d'émission d'ondes acoustiques par le front de fracture et leurs rôles dans la déviation de ce front et donc des rugosités post-split
(Obj.3). Les résultats seront modélisés à l'aide des outils de la mécanique, de l'élasticité, de la thermodynamique et de la physique statistique.

Coordination du projet

Francois Rieutord (Modélisation et Exploration des Matériaux)

L'auteur de ce résumé est le coordinateur du projet, qui est responsable du contenu de ce résumé. L'ANR décline par conséquent toute responsabilité quant à son contenu.

Partenaire

CEA - LETI Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
SOITEC
MEM Modélisation et Exploration des Matériaux

Aide de l'ANR 513 878 euros
Début et durée du projet scientifique : décembre 2018 - 48 Mois

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