ASTRID - Accompagnement Spécifique de Travaux de Recherches et d'Innovation Défense

Accéléromètre MEMS en GaN sur Silicium – AMGaSi

NA

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Résumé de soumission

Ce projet a pour but de développer un micro-accéléromètre basé sur le matériau émergent GaN. Ce capteur sera basé sur un résonateur comportant des transducteurs de nouvelle génération complètement intégrés (tout électronique) grâce aux propriétés piézoélectriques et semiconductrices de l’hétérostructure AlGaN/GaN. Après qualifié des oscillateurs MEMS selon cette technologie de rupture, un démonstrateur d’accéléromètre visant des performances pour applications inertielles sera fabriqué. Les caractéristiques (facteurs de qualités, bruit de phase, température, stabilité de biais) du microsystème et des sous-systèmes seront évaluées.

Coordinateur du projet

CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - DELEGATION REGIONALE NORD-PAS-DE-CALAIS ET PICARDIE (Divers public)

L'auteur de ce résumé est le coordinateur du projet, qui est responsable du contenu de ce résumé. L'ANR décline par conséquent toute responsabilité quant à son contenu.

Partenaire

CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - DELEGATION REGIONALE COTE D'AZUR
ECOLE NATIONALE SUPERIEURE DE MECANIQUE ET DES MICROTECHNIQUES - ENSMM
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - DELEGATION REGIONALE NORD-PAS-DE-CALAIS ET PICARDIE

Aide de l'ANR 296 724 euros
Début et durée du projet scientifique : janvier 2012 - 36 Mois

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