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Photofabrication Sub-Lambda Assistée par Nanoquenching sous Excitation Bicolore – Nanoquenching

Résumé de soumission

La nanofabrication constitue une étape-clé en nanosciences et nanotechnologie. Elle consiste à produire des structures avec des dimensions typiques entre 1 et 100 nm et présentant des propriétés physiques et chimiques originales [ , , ]. La maîtrise de cette structuration, aussi bien au niveau des dimensions caractéristiques des structures que de la nature du matériau est fondamentale pour des applications aussi diverses que l’électronique, l’optique, la photonique, la biologie, le photovoltaïque, etc… Pour cette raison, de nombreux efforts ont été déployés durant les dernières années pour développer des techniques de nanofabrication originales et les matériaux associés. Si la course à la résolution est plus que jamais d’actualité, d’autres critères sont à considérer, tel que le contrôle fin des propriétés physiques ou chimiques du matériau aux différentes échelles, en adéquation avec l’application visée.

Le but de ce projet est fondamental et vise à proposer des systèmes physico-chimiques originaux pour la photolithographie optique.
L’idée est d’utiliser des systèmes photoacides originaux pour l’absorption biphotonique (ADP), combinés à des photo-inhibiteurs qui permettront de confiner par des méthodes photophysiques et chimiques les réactions de photofabrication par réticulation à l’échelle nanométrique.
Le confinement sera en effet assuré par 1/ la réponse quadratique associée à l’ADP et 2/ le processus d’inhibition spatialement contrôlé.
Enfin, une part importante de ce projet consistera à développer les matériaux adéquats, ce qui permettra de proposer une chaîne d’expertise complète, des systèmes moléculaires aux matériaux, en passant par l’instrumentation optique pour la mise en œuvre.

Coordination du projet

Arnaud SPANGENBERG (CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - DELEGATION REGIONALE ALSACE) – arnaud.spangenberg@uha.fr

L'auteur de ce résumé est le coordinateur du projet, qui est responsable du contenu de ce résumé. L'ANR décline par conséquent toute responsabilité quant à son contenu.

Partenaire

IS2M CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - DELEGATION REGIONALE ALSACE
MIPS-Mulhouse Modélisation Intelligence Processus Systèmes

Aide de l'ANR 358 537 euros
Début et durée du projet scientifique : - 36 Mois

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