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Réalisation de capteurs biologiques à partir de nanofils de silicium – SeNa

Résumé de soumission

Ce projet porte sur la réalisation de dispositifs électroniques à base de nanofils de silicium. L?objectif principal est de fabriquer des capteurs innovants pour des applications en détection biologique et/ou chimique. Ce projet s?inscrit dans le cadre de la mise en place d?une nouvelle thématique de recherche intitulée « Dispositifs électroniques à base de nanofils de silicium » au sein du Groupe Microélectronique de l?Institut d?Electronique et des Télécommunications de Rennes (GM-IETR) UMR-CNRS 6164 de l?Université de Rennes 1. Ce travail de recherche sera effectué au sein de la salle blanche du Centre Commun de Microélectronique de l?Ouest (CCMO) dont le laboratoire a la responsabilité. Cette plate-forme technologique possède l?ensemble des équipements nécessaires à la réalisation de dispositifs électroniques intégrés et des éléments de base de microtechnologie pour des applications MEMS. Elle constitue un atout fort de l'IETR pour l?émergence et le développement des procédés de fabrication des capteurs à base de nanofils de silicium. Les propriétés physico-électriques des nanofils de silicium en font des candidats à fort potentiel du fait de leur rapport surface/volume élevé pour la réalisation de capteurs ultrasensibles. Ce projet pluridisciplinaire impose la maîtrise de nombreuses étapes qui couvrent la croissance des nanofils, la conception de maques de photolithographie, la réalisation des dispositifs en salle blanche ainsi que leur caractérisation électrique. Ce projet propose de réaliser des nanofils de polysilicium en utilisant la technique de réalisation de nanoespaceurs. Cette technique, couramment utilisée en technologie microélectronique, exploite une combinaison comprenant une étape de photolithographie conventionnelle, une étape de gravure anisotrope et un dépôt de couches minces par la technique LPCVD qui permet d?obtenir une excellente homogénéité et reproductibilité des dépôts. Cette technique de synthèse est très intéressante car elle présente l?avantage d?être totalement compatible avec une technologie silicium classique et car elle ne nécessite pas l?emploi de techniques de lithographies avancées, donc chères. Le projet présente trois structures différentes de capteurs biologiques qui seront fabriqués en salle blanche. Les étapes de fabrication de ces capteurs mettent en évidence les faisabilités technique et technologique du thème de recherche. En effet, une partie du savoir-faire technique des procédés silicium usuels est directement transférable à la réalisation de dispositifs à base de nanofils de silicium (dépôt LPCVD, gravure RIE...). Ces capteurs seront utilisés dans un premier temps pour la détection de l?hybridation moléculaire de deux brins d?ADN. La détection de ce phénomène biologique se fera par l?utilisation de protocoles de test des capteurs précédemment établis au sein du laboratoire. Cette détection d?hybridation se fera de manière directe donc sans avoir recours à l?utilisation de marqueurs et de méthodes optiques de détection. Ce sujet de recherche ambitieux présente un aspect fortement pluridisciplinaire puisqu?il a pour objectif de réaliser un capteur biologique depuis sa conception jusqu?à sa fabrication technologique.

Coordination du projet

L'auteur de ce résumé est le coordinateur du projet, qui est responsable du contenu de ce résumé. L'ANR décline par conséquent toute responsabilité quant à son contenu.

Partenaire

Aide de l'ANR 0 euros
Début et durée du projet scientifique : - 0 Mois

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