Développement d’un réseau de nano résonateurs pour l’analyse spectrale de vibrations large bande – NANORES

Les besoins en capteur de vibration pour des applications de type diagnostic de structures industrielles et assemblages mécaniques requièrent 4 exigences : - Adresser des larges bandes passantes ou des bandes passantes multiples fonction de la taille et de la diversité des technologies d’assemblage - Avoir une sensibilité optimale sur l’ensemble des bandes - Limiter au maximum le traitement du signal et la consommation totale du capteur - Avoir une durée de vie au minimum décennale. La miniaturisation poussée de structures mécaniques à l’échelle nanométrique (largeur et épaisseur £100nm) permet d’envisager la réalisation de tels capteurs par la mise en réseaux de résonateurs élémentaires travaillant à la résonance pour obtenir une sensibilité optimale. On s’attachera à identifier le mode de détection optimisé à l’échelle de ces composants, à valider la faisabilité technologique de nano résonateurs performants fonctionnant à différentes fréquences sur une large bande puis à exploiter les multisignaux via une structure en réseau et une électronique de traitement simplifiée. Un système miniature précis d’analyse spectrale de vibrations sur une large bande sera conçu, modélisé, fabriqué et caractérisé.