Accéléromètre MEMS en GaN sur Silicium – AMGaSi

Marc Faucher (CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - DELEGATION REGIONALE NORD-PAS-DE-CALAIS ET PICARDIE) – marc.faucher@iemn.fr

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IEMN CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - DELEGATION REGIONALE NORD-PAS-DE-CALAIS ET PICARDIE
CRHEA CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - DELEGATION REGIONALE COTE D'AZUR
FEMTO-ST ECOLE NATIONALE SUPERIEURE DE MECANIQUE ET DES MICROTECHNIQUES - ENSMM

Aide de l'ANR 296 724 euros
Début et durée du projet scientifique : janvier 2012 - 36 Mois

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