Caractérisation et Test In-situ des Matériaux, Procédés et des Architectures

Le projet concerne le montage d’une plateforme de caractérisation avancée, connectée virtuellement à différents équipements de procédés d’élaboration des dispositifs microélectronique via des modules de transfert spécifiques compatibles 300mm et petits échantillons (concept de caractérisation quasi-insitu)

L’intérêt d’une telle plateforme autour de ce concept est double :

-          Pour tous les procédés traitant des matériaux sensibles au passage à l’atmosphère, le maintien de la chaine de vide entre les différentes chambres de process et de caractérisation permet la compréhension fine et le développement des procédés industriels.

-          Le caractère avancé et amont des techniques de caractérisation implémentées sur la plateforme permet des études poussées dans le cadre de collaborations avec nos partenaires académiques

Le financement du projet a été utilisé pour monter les modules de la plateforme de caractérisation proprement dite : 3 chambres de caractérisation compatibles 300 mm et petits échantillons avec leurs systèmes de transferts sous vide.

-          Une chambre d’analyse XPS angulaire parallèle (pARXPS, sans tilt de l’échantillon), sous UHV

-          Une chambre d’analyse par ellipsométrie spectroscopique large bande (UV-IR), avec chuck chauffant (450°) sur laquelle est rajouté un polarimètre IR, le tout sous vide

-          Une chambre combinée Raman et Photoluminescence sous vide

Hors budget IMPACT (financements LTM ou LETI selon le cas), plusieurs équipements de procédés en salle blanche (8 à ce jour) ont été connectés à la plateforme via des interfaces  de transfert compatibles.

IMPACT est donc une véritable grande plateforme de différents modules (caractérisations et process) interconnectés virtuellement grâce aux interfaces de transfert quasi insitu.

La plateforme est en constante amélioration, et le rayonnement de ce projet et ses activités scientifiques sont en croissance, tant sur des thématiques industrielles que plus académiques.