Cristaux photoniques "pliés" : ORIGAMI semiconducteurs – PHOLDING

Ce projet a pour objectif de concevoir, fabriquer et caractériser un nouveau type de micro-cavités optiques, appelées « cristaux photoniques exotiques » (par analogie avec les nano-tubes de carbone et les fullerènes) qui permettent de stocker les photons dans un espace de faible volume et de faible indice (l’air, un liquide, etc…). Ces nouveaux dispositifs Micro-Nano-Photoniques tridimensionnels mettent en oeuvre les technologies standard de la Micro-Opto-Electronique (épitaxie, masquage, gravure) combinées à des techniques d’ingénierie des contraintes. Les géométries 3D visées sont proposées en amont par la simulation optique électromagnétique en exploitant les remarquables propriétés de réflectivité de membranes à cristaux photoniques 2D (modes de Bloch adressables par la surface) que l’on déforme en utilisant les contraintes résiduelles afin d'obtenir des cavités 3D. La fabrication repose sur une une ingénierie micro-mécanique permettant de contrôler le mouvement engendré par la relaxation des contraintes dans des multicouches semi-conductrices désaccordées, lors d'un processus final de sous-gravure contrôlée pour la fabrication d’objet 3D (tubes, rouleaux, spirales…) de taille micrométrique.