DS07 - Société de l'information et de la communication

Cristaux photoniques "pliés" : ORIGAMI semiconducteurs – PHOLDING

Résumé de soumission

Ce projet a pour objectif de concevoir, fabriquer et caractériser un nouveau type de micro-cavités optiques, appelées « cristaux photoniques exotiques » (par analogie avec les nano-tubes de carbone et les fullerènes) qui permettent de stocker les photons dans un espace de faible volume et de faible indice (l’air, un liquide, etc…). Ces nouveaux dispositifs Micro-Nano-Photoniques tridimensionnels mettent en oeuvre les technologies standard de la Micro-Opto-Electronique (épitaxie, masquage, gravure) combinées à des techniques d’ingénierie des contraintes. Les géométries 3D visées sont proposées en amont par la simulation optique électromagnétique en exploitant les remarquables propriétés de réflectivité de membranes à cristaux photoniques 2D (modes de Bloch adressables par la surface) que l’on déforme en utilisant les contraintes résiduelles afin d'obtenir des cavités 3D. La fabrication repose sur une une ingénierie micro-mécanique permettant de contrôler le mouvement engendré par la relaxation des contraintes dans des multicouches semi-conductrices désaccordées, lors d'un processus final de sous-gravure contrôlée pour la fabrication d’objet 3D (tubes, rouleaux, spirales…) de taille micrométrique.

Coordinateur du projet

Monsieur Jean-Louis LECLERCQ (Institut des Nanotechnologies de Lyon)

L'auteur de ce résumé est le coordinateur du projet, qui est responsable du contenu de ce résumé. L'ANR décline par conséquent toute responsabilité quant à son contenu.

Partenaire

LSPM Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux
INL-CNRS Institut des Nanotechnologies de Lyon

Aide de l'ANR 318 384 euros
Début et durée du projet scientifique : - 42 Mois

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