Sondes opto-mécaniques pour la microscopie AFM rapide – OLYMPIA
Coordination du projet
Bernard LEGRAND (Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes)
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Partenaire
MPQ - UMR 7162 (CNRS / Paris Diderot) Matériaux et Phénomènes Quantiques
LAAS-CNRS Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes
VMICRO SAS
CEA-LETI Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
IEMN-CNRS Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie
Aide de l'ANR 774 386 euros
Début et durée du projet scientifique :
janvier 2015
- 48 Mois
