PNANO - Programme National en Nanosciences et Nanotechnologies
MiNaTorr : Procédés d’encapsulation sous vide poussé, réalisé collectivement sur tranche, pour MEMS/NEMS de haute performance. Application aux capteurs sismiques MEMS et aux détecteurs IR micro-bolométriques – MiNaTorr
Project coordination
Christian PISELLA (PME (petite et moyenne entreprise))
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Partner
Help of the ANR 818,696 euros
Beginning and duration of the scientific project:
- 24 Months
